浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心 ALD原子層沉積 項目案例分享（帶現(xiàn)場實拍）

一、項目背景

• 核心用氣需求：氮氣作為工藝吹掃氣、前驅(qū)體載氣，同時為螺桿真空泵提供氣封保護(hù)氣，要求70 L/min 流量、99.5% 純度。

• 傳統(tǒng)痛點：高壓鋼瓶供氣存在斷供風(fēng)險、純度波動、頻繁換瓶、安全隱患大，無法匹配長時間連續(xù)實驗需求。

二、現(xiàn)場配置實拍與方案說明

1. 當(dāng)前供氣系統(tǒng)（雙機(jī)組合方案）

• 總產(chǎn)氣量：75 L/min（滿足 70 L/min 實際需求，富余充足）

• 氮氣純度：穩(wěn)定 99.5%

• 系統(tǒng)連接：發(fā)生器輸出氮氣，一路進(jìn)入 ALD 反應(yīng)腔作為吹掃 / 載氣，另一路接入螺桿真空泵作為氣封保護(hù)氣，全程無間斷供氣。

• 優(yōu)勢：雙機(jī)互為備份，運行更穩(wěn)定，避免單臺故障導(dǎo)致實驗中斷。

2. 配套真空與溫控系統(tǒng)

• 氮氣發(fā)生器配合螺桿真空泵，構(gòu)建穩(wěn)定的真空環(huán)境，同時保護(hù)泵體不受腐蝕性前驅(qū)體損傷。

• 冷水機(jī)為 ALD 設(shè)備與真空泵提供冷卻，保障長時間連續(xù)運行的溫度穩(wěn)定性。

3. 未來升級方案

• 額定產(chǎn)氣量：80 L/min，單機(jī)即可滿足全部用氣需求

• 優(yōu)勢：簡化管路布局、減少設(shè)備占地，運維更便捷，適配實驗室后續(xù)擴(kuò)容需求。

三、核心價值與項目成果

1. 供氣穩(wěn)定性保障

   雙機(jī)并聯(lián)系統(tǒng)輸出的氮氣流量、純度全程穩(wěn)定，有效避免了鋼瓶供氣的波動問題，為 ALD 薄膜沉積提供了可靠氣源。

2. 科研效率大幅提升

   無需人工更換鋼瓶，科研人員可專注于實驗設(shè)計與數(shù)據(jù)分析，7×24 小時不間斷供氣，匹配長時間循環(huán)實驗需求。

3. 安全與成本優(yōu)化

   消除高壓鋼瓶安全隱患，同時免去鋼瓶采購、運輸、租賃費用，長期運營成本顯著降低。

四、項目總結(jié)